改进的性能、卓越的泵送能力
巧妙的设计
可在几分钟内完成维护工作，从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间。
独特的轴向气隙电机
减小了整体泵尺寸，并且降低了功率和噪声。
轴承罩
可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。
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工作原理
已成为必须使用干式泵送方式时的行业标配设备，泵送速度高达 40 m3h-1，已在多种应用中被证明是一种可靠且清洁的真空泵解决方案。结合获得专利的双启动涡旋形式技术和旁通阀，EDWARDS 得以提供 XDS35i 增强型系列泵，以补充我们原有的产品系列。XDS35i 采用智能驱动技术来管理泵，并在全球范围内提供一致的性能。降低了粗抽压力下的峰值电力需求，并持续提高粗抽速度：这些增强型泵使用户能够解决性能问题，并非常适用于那些对于粗抽性能或抽空大腔室容量的能力要求较高的特殊应用。增强型装置在初始抽空期间可减少多达 20% 的峰值电力需求：意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室。在这些粗抽压力下泵送速度可提高达 25%，这也有助于提高应用的循环频率。
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技术参数
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性能图
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尺寸图
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行业应用
质谱
- GCMS
- LCMS
- ICPMS
- MALDI
- RGA
- 表面科学
- 检漏仪
高能物理
- 过滤光束线
- 加速器
- 移动泵车
- 涡轮分子泵支持
- 激光抽空
电子显微镜
- TEM
- SEM
- 样品镀膜机
样品制备
- 凝胶干燥机
- 手套箱
- 旋转蒸发仪
- 离心机
工业
- 手套箱
- 涂层系统
- 冷冻干燥
- 气瓶灌装/清空
- 制冷系统制造
- 脱气/固化（油、环氧树脂）
研究与开发
- 腔室抽空
- 涂层系统
- 涡轮分子泵后备箱
化工
- 凝胶干燥机
- 手套箱
- 旋转蒸发仪
- 离心机
- 蒸馏/萃取/过滤
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