安捷伦 VSPR 022 检漏仪 维修案例

返厂理由：数据不准 漏气。

拆解判断：1.灯丝老化 2.质谱室污染 3.内置漏孔失效

维修结果：1.更换内置漏孔 2.清洁质谱室、更换密封套 3.更换灯丝 4.性能校准测试OK